三維磁場探針臺
MPS-C-350 是世界上第一個可以完全將樣品放在可控三維磁場進行測試的探針臺。 MicroXact獨特的設計使自旋電子器件、納米電子器件和許多其他材料和器件的晶圓級測試成為可能。
全球首個155mm高頻專用探針臺，專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計；
無縫集成任何高達1.5THz的帶 差分或寬帶擴頻器；最大的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作；
4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀，可以同步查看電流電壓 (I-V)、電容電壓 (C-V) 和超快速脈沖式 I-V 特性。 作為性能最高的參數分析儀，4200A-SCS加快了半導體、材料和工藝開發速度。
MPS-C-350 是世界上第一個可以完全將樣品放在可控三維磁場進行測試的探針臺。 MicroXact獨特的設計使自旋電子器件、納米電子器件和許多其他材料和器件的晶圓級測試成為可能。
· 磁場可以以三種模式被任意控制:固定的值, 線性掃描, 或者用戶可以自定義。
· Wafer size：10mm，可升級到200mm
· 磁場：方向任意三維最大6kOe (0.6T)
· 定向精度+/- 1.0
· 在10mm直徑范圍內的均勻性+/- 2%
· 穩定性優于0.1%
· 頻率范圍：DC to ~ 67GHz
· 分辨率：200mG
· CHUNK: Isolated, grounded or coaxial.
· 運動范圍:100mm x 100mm
· 集成MPS系列軟件，可在完全可控的三維磁場中快速、簡便地捕獲圖像/視頻。
上海市松江區廣富林東路199號啟迪漕河涇三期13幢2層
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